混合ガスを用いてレーザー光を発生させる装置。波長が短く、熱や衝撃波を出さないため、角膜などの生体部位にほとんど損傷を与えない。コンピュータ制御によって、微細な部位を正確に削り取ることが可能で、レーシックをはじめとした屈折矯正手術に使用される。
1995年にFDA（米国食品医薬品局）によって、また2000年には厚生労働省によって、屈折矯正を目的とする臨床での使用を認可される。